Front-End Stocker System
◆ 客製化全自動300mm晶圓FOUP儲存設備,可儲存多達26組FOUP
◆ 採用先進機器人技術及整合多種運動和控制軟件技術,實現完全自動化FOUP存放,檢索和跟蹤操作
◆ 配合Camera及手操器的應用,實現可基外Teaching的功能
◆ N2/XCDA Purge系統(選配),應用在FOUP儲存,增加Q time
◆ ISO Class 5 環境
◆ Foup暫存區便於lot準備
◆設備結構與通訊協定符合SEMI規範