SMIF Indexer
三和技研股份有限公司
使用於8"晶圓晶舟 ( SMIF POD )傳送盒之開啟與關閉
◆ 內建RS232,Ethernet ◆ Parallel IO,SECS I/II (選配) ◆ SEMI S2 標準認證 ◆ 內建晶圓判讀與突出檢測功能 ◆ 容易安裝,操作與維護 ◆可選配適配器,進行Open Cassette上的應用
FSG-20ADIV Series
PHM-RA20
友嘉FMH-500P
HSKE25