◆ 採用S-Curve加減速控制,完美呈現高速平穩移動
◆ 全軸採用先進的AC伺服驅動
◆ 雙臂設計提升晶圓吞吐量
◆ 兼容真空吸取與邊緣夾取
◆ 晶圓 Mapping(選配)
R/L軸(臂)工作範圍
410/515/615mm
Z軸速度
最大 400mm/s;平均 1.17 s/350mm
θ軸速度
最大300°/s ; 平均1.90s/340°
R/L軸(臂)速度
最大1090/1340/1675 mm/s ; 平均0.7s 385/475/595mm
電源
交流 220 V,50Hz/60Hz,單相,11A